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エレクトロニクス分野

フッ素系液体 ノベックTMHFE(ハイドロフルオロエーテル)

環境に配慮した優れたフッ素系液体
ノベックHFEイメージ
オゾン破壊係数がゼロであることは勿論、地球温暖化係数も低く、環境に配慮した製品です。 また、不燃性で安全性が高く、様々なアプリケーションにご使用いただけます。
特にフロン・代替フロン・エタン溶剤の用途であった、洗浄、溶剤、熱媒体などにご使用いただいております。

特長

ノベックTMHFE(ハイドロフルオロエーテル)の特長
  • オゾン破壊係数ゼロで地球温暖化係数も低い。
  • 実用上無毒で許容濃度が高い。
  • 引火点がなく、不燃性。
  • 表面張力、粘度が低い。
  • 各種材料との適合性が良い。
  • 電気絶縁性能・熱伝達性能に優れている。
  • 熱的・化学的に安定している。

環境・安全性

特性 7100 7200 7300
オゾン破壊係数(ODP) CFC-11=1 0 0 0
大気寿命 単位:年 3.8 0.8 3.8
地球温暖化係数(GWP) CO2=1,100年精算 297 59 210
引火点 なし(消防法非該当)
急性吸入毒性ALC/LC50(4時間) 実用上無毒(米国環境保護庁ガイドライン準拠)

主な用途

◆洗浄用途例
  • CCD・CMOCセンサ等電子デバイスの除塵
  • 半導体製造装置部品、チャンバーの洗浄
  • 液晶セル・パネルの洗浄
  • 密加工部品の脱脂洗浄
  • カメラなどのレンズの水切り・乾燥
*ノベックTMHFE仕様の洗浄装置も取扱っております。
ノベックHFE工程概念図

◆溶剤・分散媒用途例
  • フッ素オイル用溶剤
  • PTFEフッ素樹脂の分散媒
  • 可燃性溶剤の引火点調整
  • 反応・抽出溶媒

◆冷却・熱管理ブライン用途例
  • ドライエッチング装置、露光装置、プローバー等半導体製造装置の冷却ブライン
  • 食品工業、医薬品工業、化学工業用冷却装置

ノベックHFE装置概念図

◆その他の用途例
  • 地熱発電・廃熱発電用低沸点液
  • 信頼性試験(耐電圧試験・気密試験など)

仕様

代表物性値

  • 代表物性は25℃におけるものです。(沸点、凝固点、蒸発潜熱を除く)
  • 規格値ではありません。
特性 7100 7200 7300
沸点 ℃ 61 76 98
凝固点 ℃ -135 -138 -38
蒸気圧 MPa 0.028 0.016 0.006
蒸気潜熱(沸点) kJ/kg 126 126 102
密度 kg/m3 1,520 1,430 1,660
絶対粘度 Pa・s 5.8×10-4 5.7×10-4 1.2×10-3
動粘度 cSt 0.38 0.40 0.70
比熱 J/kgK 1,172 1,214 1,137
熱伝導度 W/mk 0.069 0.069 0.062
表面張力 mN/m 13.6 13.6 15.0
屈折率 1.27 1.28 1.28
膨張係数 m3/m3K 0.00171 0.00158 0.00144
絶縁耐力 kV(2.54mmgap) 28 23 27
体積抵抗 Ωm(DC500V) 2×109 5×108 3×109
水の溶解度 ppm(wt.) 95 92 67
水への溶解度 ppm(wt.) 12 <20 0.6
誘電率 1kHz 7.52 7.35 6.14
誘電正接 1kHz <0.267 <0.273 0.016
流動点
化学式
7100:C4F9OCH3
7200:C4F9OC2H5
7100:C6F13OCH3
7100:C3HF6-CH(CH3)O-C3HF6
特性 71IPA
沸点 ℃ 54.5
密度 kg/m3 1,440
絶対粘度 Pa・s 6.8×10-4
引火点 なし
表面張力 mN/m 14.0
71IPAは、共沸様混合物です。

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