フッ素系液体　ノベック_TMHFE（ハイドロフルオロエーテル）

オゾン破壊係数がゼロであることは勿論、地球温暖化係数も低く、環境に配慮した製品です。 また、不燃性で安全性が高く、様々なアプリケーションにご使用いただけます。
特にフロン・代替フロン・エタン溶剤の用途であった、洗浄、溶剤、熱媒体などにご使用いただいております。

特長

• オゾン破壊係数ゼロで地球温暖化係数も低い。
• 実用上無毒で許容濃度が高い。
• 引火点がなく、不燃性。
• 表面張力、粘度が低い。
• 各種材料との適合性が良い。
• 電気絶縁性能・熱伝達性能に優れている。
• 熱的・化学的に安定している。

環境・安全性

主な用途

• CCD・CMOCセンサ等電子デバイスの除塵
• 半導体製造装置部品、チャンバーの洗浄
• 液晶セル・パネルの洗浄
• 密加工部品の脱脂洗浄
• カメラなどのレンズの水切り・乾燥

• フッ素オイル用溶剤
• PTFEフッ素樹脂の分散媒
• 可燃性溶剤の引火点調整
• 反応・抽出溶媒

• ドライエッチング装置、露光装置、プローバー等半導体製造装置の冷却ブライン
• 食品工業、医薬品工業、化学工業用冷却装置

• 地熱発電・廃熱発電用低沸点液
• 信頼性試験（耐電圧試験・気密試験など）

仕様

代表物性値

• 代表物性は25℃におけるものです。（沸点、凝固点、蒸発潜熱を除く）
• 規格値ではありません。